第93章 我的新年礼物，喜欢吗？(第1/2页)

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陈启明房间里的气氛，诡异得像是科幻电影的开场。

手机紧贴着他的耳朵，扩音器里传出周华国院士几乎要撕裂声带的咆哮；与此同时，v信的好友邀请通过后，视频通话请求像疯了一样弹出来，头像分别是陈景明、余德海、孟长功，以及严树隆和陈海峰的“二组”。

这画面，堪称龙国学术界春晚分会场。

陈启明深吸一口气，先对电话那头的周华国说：“周主任，冷静。大过年的，别把嗓子喊坏了。”

“我冷静不了！”周华国在那头来回踱步，背景音里满是伺服电机细微的嗡鸣和冷却系统的风声，显然他人就在那台duv样机旁边。“我们冒着风险接通了电源，对光源系统进行了初步测试。数据……数据是假的吧？！193纳米arf激光，功率输出稳定在60千瓦以上，能量抖动率低于百分之零点一！而且……最离谱的是，光斑里几乎没有相干噪声（speckle）！这违反了光学基本原理！你是怎么在提升功率的同时，还把相干性这个‘副作用’给抹掉的？！”

这是一个真正切中要害的问题。传统准分子激光器，功率越高，相干性越强，导致的光刻胶曝光不均问题就越严重，像蔡司和asml也是花了数十年才勉强通过一系列复杂的光学元件来削弱这个问题。

陈启明走到书桌前坐下，语气轻松得像是在讨论一道初中物理题。

“周主任，您陷入了一个思维定式。为什么一定要用‘一台’高功率激光器呢？”

电话那头沉默了。

“传统方案，是‘大力出奇迹’，用一台主激光器，然后拼命在光路上做‘减法’，削弱相干性。”陈启明用手指轻轻敲着桌面，声音清晰而富有穿透力，“我的方案，是做‘加法’。”

“什么意思？”周华国的呼吸都停滞了。

“光源的核心，不是一台激光器，而是一个由1024个微型半导体激光器组成的相控阵列。每一个单元输出的功率不高，但通过一个我称之为‘随机相位扰动算法’的程序进行超高频独立调制，它们发出的光束在最终汇聚点上，能量可以完美叠加，但相位却实现了统计学意义上的完全随机和均匀。”

“所以，您看到的光斑，本质上是1024束低功率、低相干性的光，在飞秒级的时间尺度内，以一种‘暴力涂抹’的方式叠加而成的。它从源头上就不是一束高相干性的光。因此，根本不需要复杂的退相干系统，也就没有了能量损失和不稳定性。”

电话那头，死寂了整整十秒。

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