第147章 流片验证(第1/2页)
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2014年的第一场雪，似乎比往年来得更早一些。盘石基地深处，却无暇感受季节变换，这里的时间，以研发进度和生产线节奏为刻度。
地下b+区车间，“烛龙”光刻机项目迎来了最终的关键时刻——首次全流程工艺验证，即“试生产”。整个车间笼罩在紧张氛围中。那台集成了无数尖端科技、耗费工蚁机器人团队几个月电能的庞然大物，静静地矗立在中心区域。复杂的真空管道、冷却系统、激光源、精密物镜、双工件台……所有子系统均已联调完毕。
李森站在主控台前，林采薇和林晚星一左一右站在他身后，三人都屏息凝神。即使是见识过诸多奇迹的她们，面对这台即将挑战现代工业皇冠上明珠的机器，也难免心潮澎湃。工蚁734静立一旁，眼中白光流转，随时准备处理任何异常。
“开始吧。”李森的声音平静，打破了沉寂。
“指令收到。启动‘烛龙’首次流片验证流程。”734的电子音响起。
刹那间，车间内响起了低沉而稳定的运行声。特殊的照明系统将无影光投射在晶圆上，激光器发出特定波长的极紫外光，通过复杂的光学系统，将刻在掩模版上的、设计线宽仅7纳米的集成电路图形，经过多次曝光和精确套刻，一丝不苟地“印刷”到涂有光刻胶的硅晶圆表面。机械臂精准地将处理完的晶圆送入下一个工艺环节——刻蚀、离子注入、薄膜沉积……
整个流程高度自动化，由734统一调度指挥。
数小时后，最后一枚经过封装测试的芯片，被机械臂小心翼翼地放入特制的载盒中。
“流片完成。芯片初检通过。正在进行全功能及性能测试。”734汇报。
控制台的大屏幕上，开始飞速滚动测试数据。电压、电流、频率、功耗、良率……一项项指标被列出，与预设的设计规格进行比对。
时间一分一秒过去。终于，屏幕上的数据流停止，跳出一个绿色的总结框：
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