第618章 技术瓶颈(第1/2页)
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风华半导体研究院的深夜里,灯光依旧通明。
材料实验室里,李振华教授盯着显微镜,眉头紧锁。旁边的工作台上,散落着几十个玻璃皿,每个里面都装着不同配比的材料样品。有的颜色暗淡,有的表面粗糙,有的已经开裂。
“还是不行。”李教授直起身,揉了揉发酸的眼睛,“第三十七次实验,光谱特性还是达不到要求。”
助手小陈递过来一杯浓茶:“教授,您已经连续工作了十八个小时,休息一会儿吧。”
“没时间休息。”李教授接过茶杯喝了一口,“光源材料是euv的命门,这个坎过不去,后面的一切都是空谈。”
他看着那些失败的样品,心中涌起一股无力感。在美国的实验室,他有最先进的设备,最纯的原料,最全的数据库。可在这里,设备是二手的,原料要自己提纯,数据要自己积累。每一项实验,都要付出几倍的努力。
“教授,要不要试试那个思路?”小陈小心翼翼地问。
“哪个思路?”
“就是您昨晚说的,用多层薄膜结构,模拟单一材料的特性。”小陈说,“虽然工艺复杂,但至少理论上可行。”
李教授沉思着。这个思路是他昨晚突发奇想想出来的,但实现难度极大。需要精确控制每一层薄膜的厚度,误差不能超过纳米级别。以他们现有的设备,几乎不可能做到。
“设备精度不够。”他摇头。
“我们可以改造设备。”一个声音从门口传来。
张建国走了进来,手里拿着几份图纸:“李教授,你看这个。我们的机械工程师设计了新的夹具和控制系统,能把现有镀膜机的精度提高一个数量级。”
李教授接过图纸,仔细研究。图纸设计得很巧妙,用机械补偿的方式,弥补了设备精度的不足。虽然比不上最先进的设备,但确实有可能实现纳米级的控制。
“谁设计的?”他惊讶地问。
“小王,就是那个提出降频方案的年轻人。”张建国笑道,“他说既然买不到好设备,就把现有的设备改造到最好。”
李教授感慨:“真是江山代有才人出啊。好,就按这个方案试试。小陈,准备材料,我们今晚就做第一次试验。”
“是!”小陈兴奋地跑向库房。
张建国看着李教授布满血丝的眼睛,忍不住劝道:“教授,您还是休息一下吧。这样连轴转,身体会垮的。”
“张总,你不也在连轴转吗?”李教授反问,“我刚才路过光学实验室,看到你带着人在调试镜面抛光机,也是通宵吧?”
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