第301章 试剂厂的零点几个九(第1/3页)
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清晨的黄浦江畔还弥漫着薄雾。
吕辰、宋颜、谢凯三人在路边小店简单吃了碗阳春面，便再次赶往漕河泾工业区，这次的目标是上海试剂总厂。
如果说光刻机是芯片制造的“雕刻刀”，那么超纯化学试剂就是“清洗剂”和“蚀刻液”。
没有达到电子级纯度的酸碱溶液，硅片表面的微量污染就无法去除，精细的电路图形也无法刻蚀出来。
上海试剂总厂的大门不怎么气派，但戒备森严。
厂区围墙更高，门口除了门卫，还有专门的安检人员，对进出车辆和人员都要仔细检查。
“试剂厂很多原料和产品都是易燃、易爆、强腐蚀、有毒的，安全是第一位的。”前来迎接的技术科李科长解释道。
他四十岁上下，身材瘦削，戴着深度近视眼镜，说话语气平和但条理清晰，典型的化工技术人员气质。
在简朴的会议室落座后，宋颜教授直接切入主题，递上一份详细的试剂需求清单。
“李科长，芯片制造对化学试剂的纯度要求，可能比贵厂目前生产的最高等级分析纯还要高出一个数量级。”
李科长接过清单，扶了扶眼镜，仔细阅读起来。
清单上列出了十几类关键试剂，每一类后面都标注着令人咋舌的纯度指标。
氢氟酸（hf）：电子级，金属离子总量＜10ppt（万亿分之一），颗粒物＞0.1μm＜10个/ml
过氧化氢（h?o?）：电子级，稳定剂含量＜1ppm，金属离子＜1ppb（十亿分之一）
硫酸（h?so?）：电子级，灼烧残渣＜0.1ppm，铁含量＜0.01ppm
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