第468章 精密之困(第1/3页)
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原子层沉积设备的零部件采购计划启动,但困难比预想的还要大。
陈静拿着采购清单,眉头紧锁:厂长,分子泵的供应商回复了,说最新的涡轮分子泵受出口管制,不能卖给我们。他们只肯卖老式的油扩散泵,但那个真空度不够。
流量控制器呢?
也一样。高精度的质量流量控制器,需要特别许可。普通的不够用。
真空腔体呢?
这个好一些,但能做高精度不锈钢真空腔体的厂家不多,交货期要两个月。
林凡听着汇报,面色凝重。科锐这一手,确实打在了七寸上。没有关键部件,原子层沉积设备就是一堆废铁。
韩博士,用低精度部件替代,行不行?他问。
韩博摇头:不行。原子层沉积的原理就是在原子尺度上控制薄膜生长,真空度不够,会有杂质;流量控制不准,薄膜厚度不均匀;腔体精度不够,温度场和气流场都会出问题。
那怎么办?
韩博沉默片刻,突然说:也许,咱们可以换个思路。
什么思路?
不做传统的原子层沉积,做改进版的。韩博拿起笔,在纸上画示意图,传统ald需要超高真空和精密流量控制,是因为前驱体是气态的。如果咱们把前驱体改成液态,用喷墨打印的方式,一层一层喷上去呢?
喷墨打印?林凡眼睛一亮,你是说,像3d打印那样?
对,但精度要达到纳米级。韩博说,喷墨头要特别设计,液滴体积要控制在皮升级。前驱体溶液要高度均匀,挥发速度要精确控制。
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